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四探針方阻電阻率測定儀

簡要描述:四探針方阻電阻率測定儀硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國標設計制造;GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

  • 更新時間:2025-02-10
  • 瀏覽次數:3731

詳細介紹

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LST-331普通四探針方阻電阻率測試儀

 

一、四探針方阻電阻率測定儀描述:

采用范德堡測量原理能解決樣品幾何尺寸、邊界效應探針不等距和機械游移等外部因素對測量結果的影響及誤差,提供通訊接口,PC軟件數據處理及數據分析.中文或英文語言版本.

四探針方阻電阻率測定儀參照標準:

硅片電阻率測量的標準(ASTM F84)及國標設計制造GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》、GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

.適用范圍:

適用于生產企業、高等院校、科研部門,是檢驗和分析半導體材料質量的工具;液晶顯示,自動測量和系數補償,并帶有溫度補償功能,自動轉換量程;采用芯片控制,恒流輸出,選配:PC軟件,保存和打印數據,生成報表

用于:覆蓋膜;導電高分子膜,高、低溫電熱膜;隔熱、導電窗膜 導電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標簽、合金類箔膜;熔煉、燒結、濺射、涂覆、涂布層,電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料,其他半導體材料、薄膜材料方阻測試等相關產品

.型號及參數

規格型model

LST-331

1.方塊電阻范圍

10^-52×10^5Ω/□

2.電阻率范圍 

10^-62×10^6Ω-cm

測試電流范圍

0.1μA 1μA10μA100µA1mA10mA100mA

4.電流精度 

±0.1%

5.電阻精度

≤0.3%

6.顯示讀數

液晶顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率

7.測試方式

普通單電測量

8.工作電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W 

9.誤差

4%(標準樣片結果)

10.選購功能

選購1.pc軟件; 選購2.方形探頭; 選購3.直線形探頭; 選購4.測試平臺;5.標準電阻.

11.測試探頭

探針間距選購:1mm2mm3mm三種規格; 探針材質選購:碳化鎢針;白鋼針;鍍金磷銅半球形針

12.標準電阻(選購)

規格:1mΩ、10mΩ、100mΩ、1Ω、10Ω、1kΩ、10kΩ、100kΩ、1MΩ




















五、標準配置外訂購明細:

序號

型號

品名

單位

數量

備注

1

340-CSX

測試線

1


2

09A

標準電阻

1-5

選購規格和數量

3

06A

四探針測試平臺

1

含探頭1個

4

06B

四探針探頭

1

方型或直線型選購

5

340-TTZ

鍍金彈簧銅針4根

1

4根為一組

6

340-WTZ

彈簧鎢針4根

1

4根為一組

7

340-RJ

分析軟件

1


8

PC

電腦+打印機

1

依據客戶要求配置

9

300-JL

檢測技術服務

1

計量證書1份

10

WDCGQ

溫度傳感器

1

常溫-125度


331-YB

延保服務  

1-3


 


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